این سیستم از یک انتقال خلاء مرکزی (CVT)، آسانسور کاست خلاء و چهار تا راکتور فرآیند تشکیل شده است. این راکتورهای فرآیند به بار اصلی متصل شده و در حالت تولید اجرا می شوند یا می توانند به طور مستقل کار کنند. Oracle همچنین می تواند برای محیط آزمایشگاهی (با بارگیری ویفر تکی) یا برای تولید کامل (با آسانسورهای کاست خلاء) تنظیم شود. از آنجا که Oracle حداکثر چهار اتاق پردازش جداگانه را در خود جای داده است، بسیاری از ترکیبات فرآیندی ممکن از جمله خاکستر، اچ و ماژول های رسوبی، این فرآیندها با خیال راحت و بدون آلودگی جوی انجام می شوند زیرا همه محفظه ها خلاء هستند.