시스템은 네 개의 공정 반응기에 대한 중앙의 진공 운송 (CVT), 진공 카세트 엘리베이터까지 구성된다. 이 프로세스 원자로는 중앙로드 록에 도킹 및 생산 모드에서 실행하거나 독립적으로 작동 할 수 있습니다. 오라클은 (단일 웨이퍼 로딩) 중 실험실 환경 또는 (진공 카세트 엘리베이터)와 양산을 위해 구성 될 수있다. 오라클 네 개의 개별 프로세스 챔버을 수용하기 때문에, 애쉬, 식각 및 증착 모듈을 포함하여 여러 가지 처리의 조합이있다. 모든 챔버 진공 부하 잠겨 있기 때문에 프로세스를 안전하게 대기 오염없이 실행됩니다.
