Система состоит из центрального вакуумного транспорта (CVT), вакуумные кассет лифтов и до четырех реакторов процесса. Эти реакторы процесса состыкованы с центральным замком нагрузки и запустить в производстве-режиме или могут работать независимо друг от друга. Оракула также может быть сконфигурирована либо в лабораторных условиях (с одной пластиной загрузкой) или для полного производства (с вакуумной кассетой лифтами). Поскольку оракул вмещает до четырех отдельных камер процесса, существует много возможных комбинаций процессов, в том числе золы, травления и модулей осаждения. Процессы надежно работать без загрязнения атмосферы, поскольку все камеры являются вакуумной нагрузкой заблокирована.