Le Système se composent d’un transport à vide central (CVT), les ascenseurs de la cassette à vide et JUSQU’A Quatre Réacteurs de Processus. Réacteurs de CÉS Ancres au Processus Sont sas de chargement et centrale EXÉCUTE Dans la production de Mode OU PEUVENT Être de Manière indépendante actionnés. L’oracle may also Être configurons pour l’Environnement Soit du laboratory (avec frais uniques de la plaquette) OU Pour la production totale (avec la cassette à vide ascenseurs). Que l’oracle Parcé may Accueillir JUSQU’A chambres de treatment Quatre distinctes, il exists de de combinaisons Nombreuses Processus possibles, y compris les cendres, héliogravure, et des modules de dépôt. Les en toute Processus are sécurité sans contamination fonctionnent voiture Toutes les atmosphérique Chambres sont PERÇOIT vide verrouillé.