变量
意大利
该系统由一个中央真空输送器(CVT),真空盒升降机和最多四个处理反应器。这些过程的反应器停靠到所述中央负载锁定和在生产模式下运行,或者可以被独立地操作。在oracle还可以配置用于实验室环境(具有单个晶片装载)或完整的生产(与真空盒升降机)。因为在oracle容纳多达四个独立的处理室,有许多可能的方法的组合,包括灰,蚀刻和沉积模块。因为所有的室是真空负载锁定过程是安全而不大气污染运行。
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